其他名稱: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride
分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
產(chǎn)品純度:99.99~99.999%
包裝說(shuō)明:47L DOT鋼瓶，鋼瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材質(zhì)閥門(mén)，閥門(mén)型號(hào)CGA660；40L高壓無(wú)縫鋼瓶，凈重30kg/瓶，瓶頭閥是銅質(zhì)閥門(mén)是QF-2，出口螺紋是G5/8
產(chǎn)品說(shuō)明
四氟化碳在常溫常壓下是無(wú)色無(wú)臭有輕微醚味，較易揮發(fā)的不燃燒的壓縮氣體，是化學(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定的有機(jī)物。充裝于四氟化碳鋼瓶中，飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在硅和二氧化硅體系中，采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性。在電子器件表面清洗，太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)，激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學(xué)穩(wěn)定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料行業(yè)；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
產(chǎn)品應(yīng)用
用于電子器件表面清晰、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑
CF4是良好的電氣絕緣和滅弧材料，可作為變壓器、電力開(kāi)關(guān)的絕緣氣體
用于微電子工業(yè)的等離子蝕刻
用于太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)，激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)
用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等
用于塑料行業(yè)，如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯
由于四氟化碳的溶氧性很好，所以被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)代替普通壓縮空氣
高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻
注意事項(xiàng)
四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)倉(cāng)間內(nèi)。倉(cāng)內(nèi)溫度不宜超過(guò)60℃。遠(yuǎn)離火種、熱源。防止陽(yáng)光直射。應(yīng)與易燃或可燃物分開(kāi)存放。驗(yàn)收時(shí)要注意品名，注意驗(yàn)瓶日期，先進(jìn)倉(cāng)的先發(fā)用。搬運(yùn)四氟化碳時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。泄漏時(shí)，應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散。如有可能，即時(shí)使用。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。
四氟化碳的物理化學(xué)性質(zhì)
分子量：88.005
熔點(diǎn)(101.325kPa)： -186.8℃
沸點(diǎn)(101.325kPa)： -128.0℃
液體密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)： 3.946 kg/m3
相對(duì)密度(氣體，0℃，101.325kPa)： 3.05
氣液容積比(15℃，100kPa)：436 L/L
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
臨界溫度： -45.6℃
臨界壓力： 3739kPa
臨界密度： 629kg/m3
壓縮系數(shù)：
分子量：88.005
熔點(diǎn)(101.325kPa)： -186.8℃
沸點(diǎn)(101.325kPa)： -128.0℃
液體密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)： 3.946 kg/m3
相對(duì)密度(氣體，0℃，101.325kPa)： 3.05
氣液容積比(15℃，100kPa)：436 L/L
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
臨界溫度： -45.6℃
臨界壓力： 3739kPa
臨界密度： 629kg/m3
壓縮系數(shù)：
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溫度℃ |
壓縮系數(shù)
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100kPa
|
1000kPa
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5000kPa
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10000kPa
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1 5
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0.9981
|
0.9763
|
0.7832
|
0.6058
|
|
50
|
0.9988
|
0.9866
|
0.8717
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0.7637
|
熔化熱(-186.8℃)： 7.609 kJ/kg
氣化熱(-127.94℃，101.325kPa)： 135.65 kJ/kg
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp=696 J/(kg·K)
Cv=602J/(kg·K)
比熱比(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.157
蒸氣壓(-180.65 C)：0.20 kPa
(-120℃)： 165 kPa
(-50℃)： 3220 kPa
粘度(101.325kPa，0℃，氣體)：0.0161 mPa·S
(-60.0℃，液體)：0.170 mPa·S
表面張力(-80.0℃)： 6.4 mN/m
導(dǎo)熱系數(shù)(101.325kPa，0℃)：0.01503 w/(m·K)
(液體，-60.0℃)：0.07196 w/(m·K)
折射率(-73℃)： 1.151
四氟化碳在常溫常壓下為無(wú)色無(wú)臭有輕微醚味的氣體?？諝庵胁蝗紵?，是比較穩(wěn)定的無(wú)毒物質(zhì)。但是在高溫時(shí)，或與可燃?xì)怏w一同燃燒時(shí)，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa時(shí)，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。
